




氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。
北京科儀真空技術(shù)有限公司專業(yè)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀,如您想了解更多您可撥打圖片上的電話進行咨詢!
氦質(zhì)譜檢漏用氦氣的選擇
氦氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子質(zhì)量為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的質(zhì)量為3.65×10-27kg,在標準狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25K,臨界壓力為2.26×105Pa,1atm壓力下的沸點為4.214K,熔點為0.9K,三相點溫度為2.186K,三相點壓力為51.1×10-2Pa,在標準狀態(tài)下的熱導率為510.79J/(m·h·K),在標準狀態(tài)下的定壓比熱為5233J/(kg·K),在標準狀態(tài)下的動力粘度系數(shù)為1.86×10-5Pa·s,1L液氦氣化為標準狀態(tài)下的氦氣體積為700L。真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來,在罩內(nèi)充滿一定濃度的氦氣,可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。
國家標準規(guī)定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業(yè)用氦、純氦、高純氦三種。
1、工業(yè)用氦:氦含量≥99%,露1點≤43℃.
2、純氦分三級:優(yōu)等品氦含量≥99.995%;一等品氦含量≥99.993%;合格品氦含量≥99.99%。
3、高純氦分為三級:優(yōu)等品氦含量≥99.9996%;一等品氦含量≥99.9993%;合格品氦含量≥99.999%。
氦氣在氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用氦,即氦含量≥99%,露1點≤43℃。
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真空箱氦檢漏的特征和優(yōu)點
1、高壓氮氣強度檢測真空箱內(nèi)進行,保護操作者安全
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零,保證了檢漏的準確性、。
3、檢漏儀的自動校準功能以及自動校準程序,可隨時校準檢漏儀的靈敏度、準確度。
4、特殊設計的檢測程序判斷出具體的有漏工件,并通過燈光和液晶操作屏顯示出來。
5、技術(shù)的密封接頭,減少誤判。
6、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能,確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。
7、PLC控制,使系統(tǒng)運行清晰明了,實現(xiàn)了實時監(jiān)測及控制。
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